生产设备

Clean Room
我们运营约830㎡(250坪)的10,000级洁净室。通过定期的环境监测与制程优化,防止产品受到污染。
管理基准 ≤ 5,000 EA ↓ @ 0.5㎛(2025年)

组装检测设备

偏心测量仪
以 Vision 测量晶圆旋转中的跳动,精度达0.001mm,消除旋转过程中产生的不良因素。

动平衡测试仪
测量电机旋转时产生的振动不平衡量。通过调整旋转体的重量平衡把振动降到最低,消除造成晶圆不良的因素。

三坐标测量机
自动进行三维精密测量,包括设备连接部各基准位置的高度与距离在内的外形尺寸,确认产品是否处于最佳状态。
量测设备
| 设备 | 厂商 | 型号 | 外观 | 数量 |
|---|---|---|---|---|
| 测量仪器 | MITUTOYO | CRYSTA-APEX 5574 [3D Contact] | 1 EA | |
| DUKIN | PLUTU 8102 [3D Non-Contact] | 1 EA | ||
| KEYENCE | IM6225 | 1 EA | ||
| WIZ OPTICS | ZYGO VERIFIRE XPZ | 1 EA | ||
| OLYMPUS | STM6-LM | 1 EA | ||
| CEDAR | DIGITAL TORQUE WRENCH | 2 EA | ||
| 定制 | MICRO HOLE VISION | 2 EA | ||
| DINO-LITE | AM3113T | 2 EA | ||
| OMRON | FZ-SC | 2 EA | ||
| MPM | BMT-240M | 2 EA | ||
| VIMTEC | EAGLEEYE2 | 1 EA | ||
| WOLFGANG | SRM-110 | 2 EA | ||
| 此外还保有高度规、环规、塞规、推拉力计、内径量表、偏心测量仪、照度计、流量计与振动(平衡)测量仪。 | ||||
测量仪器
CRYSTA-APEX 5574 [3D Contact]1 EA
PLUTU 8102 [3D Non-Contact]1 EA
IM62251 EA
ZYGO VERIFIRE XPZ1 EA
STM6-LM1 EA
DIGITAL TORQUE WRENCH2 EA
MICRO HOLE VISION2 EA
AM3113T2 EA- FZ-SC2 EA
- BMT-240M2 EA
- EAGLEEYE21 EA
- SRM-1102 EA
此外还保有高度规、环规、塞规、推拉力计、内径量表、偏心测量仪、照度计、流量计与振动(平衡)测量仪。

