Wet Clean装置でウェハーを固定するチャック
Spin Chuck
Overview
腐食環境でも形状を保ちます
表面および裏面処理のために活用され、300mm・200mmのさまざまな工程に適用されています。お客様の主な薬液や使用装置に応じて、素材のカスタマイズと新規チャックの開発が可能です。
OEM
半導体装置メーカーの洗浄装置の中核部品を、OEM生産して納品しています。
ODM
半導体洗浄装置の分野で蓄積されたOEM生産のノウハウと技術力を基に、ODM生産して納品しています。
Reverse Engineering
独自の成分分析と逆開発の能力に基づき、スピンチャックのメンテナンスが可能です。
45℃ ~ 220℃ Chemicalに対応可能です
Production Reference・納入実績に基づく値です。
- Service Temp.45℃ ~ 220℃
- Base Materialエンジニアリングプラスチック (PEEK、PVCなど)・非鉄金属 (AL、SUSなど)
- ChemicalHF, SC1, SPM, LPSPM, DSP, DHF, LAL, POLY, T-dryer, ESC (organic), O3HF, O3DIW
その他の薬液についても、お客様の工程条件に合わせて検討いたします。
