生産設備

Clean Room
約830㎡ (250坪) 規模の10,000classクリーンルームを運用しています。定期的な環境モニタリングと工程の最適化で、製品の汚染を防ぎます。
管理基準 ≤ 5,000 EA ↓ @ 0.5㎛ (2025年)

組立検査設備

偏心測定器
Visionを利用して回転中のウェハーの振れを0.001mm単位まで測定し、回転中に生じる不良の要素を取り除きます。

バランシング測定器
モーターの回転時に生じる振動のアンバランス値を測定します。回転体の重量バランスをとることで振動を最小化し、ウェハー不良の要素を取り除きます。

三次元測定器
装置の締結部の基準位置ごとの高さと距離を含め、外形寸法を自動で三次元精密測定し、製品が最適な状態かを点検します。
計測設備
| 設備 | メーカー | モデル | 外観 | 数量 |
|---|---|---|---|---|
| 測定機器 | MITUTOYO | CRYSTA-APEX 5574 [3D Contact] | 1 EA | |
| DUKIN | PLUTU 8102 [3D Non-Contact] | 1 EA | ||
| KEYENCE | IM6225 | 1 EA | ||
| WIZ OPTICS | ZYGO VERIFIRE XPZ | 1 EA | ||
| OLYMPUS | STM6-LM | 1 EA | ||
| CEDAR | DIGITAL TORQUE WRENCH | 2 EA | ||
| 特注品 | MICRO HOLE VISION | 2 EA | ||
| DINO-LITE | AM3113T | 2 EA | ||
| OMRON | FZ-SC | 2 EA | ||
| MPM | BMT-240M | 2 EA | ||
| VIMTEC | EAGLEEYE2 | 1 EA | ||
| WOLFGANG | SRM-110 | 2 EA | ||
| このほか、ハイトゲージ、リングゲージ、プラグゲージ、プッシュプルゲージ、シリンダーゲージ、偏心測定器、照度測定器、流量計、振動 (バランス) 測定器を保有しています。 | ||||
測定機器
CRYSTA-APEX 5574 [3D Contact]1 EA
PLUTU 8102 [3D Non-Contact]1 EA
IM62251 EA
ZYGO VERIFIRE XPZ1 EA
STM6-LM1 EA
DIGITAL TORQUE WRENCH2 EA
MICRO HOLE VISION2 EA
AM3113T2 EA- FZ-SC2 EA
- BMT-240M2 EA
- EAGLEEYE21 EA
- SRM-1102 EA
このほか、ハイトゲージ、リングゲージ、プラグゲージ、プッシュプルゲージ、シリンダーゲージ、偏心測定器、照度測定器、流量計、振動 (バランス) 測定器を保有しています。

