Wet Clean 장비의 웨이퍼 고정용 척
Spin Chuck
Overview
고부식 환경에서 형상을 유지하는 척
표면 및 이면 처리를 위해 활용되며 300mm, 200mm의 다양한 공정에 적용되고 있습니다. 고객사의 주요 Chemical 및 사용 장비에 따라 다양한 소재를 활용한 고객 중심의 신규 Chuck 및 소재 개발이 가능합니다.
OEM
Global Top Leading 반도체 장비사에 세정장비 핵심 Part를 OEM 생산하여 납품하고 있습니다.
ODM
반도체 세정장비 분야에서 축적된 OEM 생산 노하우와 기술력을 바탕으로 ODM 생산하여 납품하고 있습니다.
Reverse Engineering
독자적인 성분분석과 역개발 역량을 바탕으로 Spin Chuck의 수리가 가능합니다.
45℃ ~ 220℃ Chemical에 대응 가능 합니다
Production Reference · 기존 납품 기준입니다.
- Service Temp.45℃ ~ 220℃
- Base MaterialEngineering Plastic (PEEK, PVC 등) · 비철류 (AL, SUS 등)
- ChemicalHF, SC1, SPM, LPSPM, DSP, DHF, LAL, POLY, T-dryer, ESC(유기), O3HF, O3DIW
상기 외 Chemical도 고객 공정 조건에 맞춰 소재 검토가 가능합니다.
